| 产商/产地 | 天津 | 产品等级 | 工业级 |
| 含量 | 99.7(%) | 执行质量标准 | 国标 |
| CAS | 4109-96-0 |
dichiorosilane二氯二氢硅(sih2cl2)
totalpurity纯度:>99.7%
impurities
杂质
contaminants 杂质 | specifications 规格 | |
inertgases | 惰性气体 | <1000ppm |
monochlorosilane | 一氯甲硅烷 | <800ppm/w |
trichlorosilane | 三氯氢硅 | <2000ppm/w |
silicontetrachloride | 四氯化硅 | <300ppm/w |
carbon | 碳 | <0.05ppm/w |
aluminium | 铝 | <0.04ppb/w |
arsenic | 砷 | <0.03ppb/w |
boron | 硼 | <0.02ppb/w |
iron | 铁 | <3ppb/w |
phosphorus | 磷 | <0.05ppb/w |
o | 氧 | <1ppm |
resistivity | 电阻系数 | >400ohm-cm |
standard packageinformation
包装规格
cylindertype气瓶规格 | 44l |
fillweight充装量(lbs) | 90/50/10 |
valveconnection阀门(cga) | 678 |
氨基磺酸、五氧化二钒、漂粉精、福美钠、偏钒酸铵、优氯净、强氯精、氢氧化钠、氢氧化钾
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