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水晶传感器

QCM传感器提供观察涂层工艺的窗口，并告知基板上沉积材料的厚度和沉积速度或每秒的厚度。此信息可用于从一开始就jingque控制涂层工艺，从而控制沉积源的电源供应。

位于传感器头上的圆形薄水晶来自多面体的水晶棒，如闪烁的六面体棒状。经过一系列加工，该棒将变成薄薄的（约1/10000英寸）圆形晶片堆叠的形状。以下每个晶片在一侧加工几何后进行清洁，Zui后晶片用薄金属薄膜涂层，一侧在边之间，另一侧用钥匙救生几何涂层。在对电气特性进行Zui终检查后，修改将包装在绝缘容器中并交付给Zui终用户。

首先发现，按下或拖动水晶材料（如石英）会形成像电一样的电场。这种性质后来被称为压电效应。相反，如果将电池连接到水晶，水晶将以拉伸或压缩的方式变形。如果快速重复电池的开/关，水晶就会震动。

真空膜装置里的水晶板上物质成膜后，根据该膜的重量感，水晶板的共振频率降低，薄膜显示器测定其频率，计算膜的厚度。

图1、图2显示频率和膜厚度的关系。

Parameter的DENSITY、Z-RATIO是用来计算修正板膜厚度的，TOOLING是用来校正被性膜基板膜厚度的比例整数。

当我们得到膜的厚度时，我们得到了膜的速率。