半导体参数仪B1500A

、KeysightB1500A 半导体器件分析仪是一款真正意义上的参数分析仪

·         KeysightB1500A 半导体器件分析仪（半导体参数分析仪/半导体表征系统）是器件表征的综合解决方案。

·         支持基本的电流-电压（IV）和电容-电压（CV）测量以及业界领先的快速脉冲 IV/ 快速 IV/ 瞬时 IV 测量，具备极高的测量可靠性

·         嵌入式 Windows7 和功能强大的 EasyEXPERT 软件借助先进的图形用户界面（GUI），可让您执行高效、深入、数据可恢复的器件表征。

·         这款佳表征解决方案可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测。

·         根据您的测试需求，模块化结构可升级至 10 插槽配置。

卓越的测量能力和极高的测量可靠性
Keysight B1500A 针对基础和器件表征提供以下功能。
 

测量功能

主要技术指标/特性

测量模块

电流/电压（IV）测量

·         电源和测量范围高达 200V/1 A

·         极低测量分辨率为 0.1fA / 0.5 µV

·         针对基础和 IV 测量提供点测量、扫描测量等功能

B1511B /B1511B /B1511B  SMU（电源/测量单元）

准静态CV（QS-CV）

·         的准静态电容-电压（QS-CV）测量，具有泄露电流补偿

采样测量

·         采样（时域）测量间隔为 100µs

BA SMU（电源/测量单元）

脉冲测量

低至500µs

·         在 500µs 脉宽、2μs 分辨率的条件下执行脉冲测量

低至100ns

·         适用于脉冲 IV 和瞬时 IV 的超快速 IV 测量功能，例如NBTI/PBTI、RTN（随机电报信号噪声）等

·         脉冲测量，脉宽为 50μs

·         电源和测量范围高达 30V / 1 A（0.1A 直流）

·         支持示波器视图

·         利用 10ns 编程分辨率生成波形

·         同时执行高速 IV 测量（200MSa/s，采样率为 5ns）

·         10V 峰峰值输出

·         利用动态 SMU 技术，负载线不会影响脉冲 IV 测量的精度

B1514A 50 µs 脉冲 MCSMU
（中等电流电源/测量单元）
 

低至10ns

·         适用于 高 k/SOI 脉冲 IV 的表征解决方案

·         选通脉冲宽度是 10ns 至 1µs，上升和下降时间小值为 2ns

B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案

脉冲生成

·         高压输出可达 ±40V，适用于非易失存储器测试

·         为单通道提供二电平和三电平脉冲

·         利用 10ns 分辨率灵活地生成任意波形（任意线性波形生成功能）

·         每个模块具有两个通道

B1525A HV-SPGU（高电压半导体脉冲发生器单元）

交流阻抗（CV）测量

·         交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t）

·         频率范围 1kHz 至 5MHz

·         SMU 提供 25V 内置直流偏置和 100V 直流偏置

·         SCUU 能够快捷、地改变 IV 和 CV 自动连接

B1520A MFCMU（多频率电容测量单元）

在研发的各个阶段中（从探测到自动化）实现高效、数据可恢复的器件表征
- EasyEXPERT 软件在嵌入式 Windows7 中运行
- 数百种测量程序库在需要时即可使用（应用测试）
-15 英寸触摸屏支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测
- 自动数据记录特性支持测试数据和测试条件的恢复，可使您轻松地进行探测
- 利用曲线追踪（旋钮操作）和自动记录特性来实现实时交互表征

-EasyEXPERT 的曲线追踪仪测试模式通过旋钮来控制可变扫描，与传统的曲线追踪仪类似
-示波器视图能够显示施加到器件中的电压和电流波形，从而帮助用户优化测试条件、观察器件的瞬时现象
- 利用便捷的在线/离线测试环境完成测试开发与分析，从而极大限度地发挥仪器效用