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三氯硅烷一般指三氯代甲硅烷，是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。外观为无色液体，溶于苯、、庚烷等多数有机溶剂，主要用于制造硅酮化合物。

中文名

三氯硅烷

外文名

Trichlorosilane
Silicochloroform 

别    名

三氯氢硅 

化学式

SiHCl3

分子量

135.452

CAS登录号

10025-78-2

EINECS登录号

233-042-5

熔    点

-127℃

沸    点

32至 34 ℃

密    度

1.342g/cm³

外    观

无色液体

闪    点

-20℃ （OC）

安全性描述

S7/9；S16；S26；S36/37/39；S43；S45

危险性符号

F+；C

危险性描述

R12；R14；R17；R20/22；R29；R35

理化性质

密度：1.342g/mLat 25°C(lit.)

熔点：-127 °C

沸点：32-34°C

闪点：-20℃（OC） 

临界压力（MPa）：4.17

引燃温度：185℃

饱和蒸气压：65.8kPa（20℃）

爆炸上限（V/V）：90.5%

爆炸下限（V/V）：1.2%

外观：无色液体

溶解性：溶于苯、、庚烷等多数有机溶剂 。

结构：三氯硅烷为四面体型分子，Si-Cl键长202.1pm，Si-H键长147pm。 

化学性质：无碱存在时，三卤代硅烷水解后生成白色聚合物(HSiO1.5)n。这是一种具有层状结构的物质，在结构上它与硅氧烯(H2Si2O)n比较接近。 

应用领域

主要用于制造硅酮化合物。用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中Zui基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。