单片甩干机 单片双面吹气甩干机 EFEM集成甩干机 EFEM模组甩干机 EFEM甩干机 12寸甩干机-日本大胆无码免费视频,二人世界电视剧国语版第四集
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- 品牌
- ZKM
- 型号
- 12寸
单片清洗甩干机属于高洁净度清洗干燥设备，具备高速甩干、快速烘干、生产效率高等特点；可通过快速更换甩干头适配不同规格晶圆。主要应用于2‑12 英寸半导体晶圆、掩膜板及各类基片的清洗干燥工艺，具备投入成本低、可快速接入产线生产的优势。
单片清洗甩干机
SG‑8‑12‑2D
设备主要由伺服电机、PLC 控制器、人机界面、高洁净阀门、PFA 管路、氮气加热器、防腐蚀外壳、甩干头等部件组成。
设备壳体：采用进口 PP 板材质，满足洁净室使用环境要求。
驱动单元：配置专用中空伺服电机，转速范围 10‑4000rpm，可实现低速均匀清洗、高速离心甩干工艺。
控制系统：工业 PLC + 人机触摸屏，各部件控制稳定可靠，操作可视化。
电气标准：电气元器件选型符合 CE 认证要求。
气路配置：吹气前端配置过滤器，保障供气洁净度。
晶圆接触部位：采用 PEEK 材质。
晶圆防护：晶圆 3mm 排除区域允许接触，其余区域非接触式设计，避免水渍残留。
出厂测试：设备出厂前完成 48h 不间断马拉松运行测试，随机提供甩干碎片、滑片专项检测报告。
表格
项目性能指标参数| 加工硅片尺寸 | 6‑12 英寸圆片（更换对应 CHUCK 甩干头） |
| 单次甩干数量 | 1 片 |
| 工位数量 | 1 个 |
| 空载旋转速度 | 10‑4000 R/Min |
| 甩干方式 | 离心甩干 |
| 吹气功能 | 双面吹气（正面 + 反面） |
| 氮气质量流量控制 | 2 路，分别控制正反两面 |
| 清洗甩干周期 | 开启吹气：90‑120s 完成彻底干燥 |
| 氮气工作压力 | 0.35‑0.4MPa，气管接口 φ6mm |
| CDA 工作压力 | 0.35‑0.4MPa，气管接口 φ6mm |
| 排水管接口 | 12mm 卡套接头 |
| 显示控制系统 | 7 寸触摸屏 + PLC 可编程控制器 |
| 挡水环升降 | 支持（材质 PP/PE） |
| 固定位置停止 | 支持 |
| 空片检测 | 支持，超声波位置检测 |
| 外控启动 | 支持 |
| 上位机程序控制 | 支持 |
| 管路材质 | PFA |
| 供电电源 | AC220V |
| 整机功率 | 1.5kW |
| 外形尺寸（长 × 宽 × 高） | 450mm × 490mm × 660mm |
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单晶炉,多晶炉,区熔炉,SEMITOOL甩干机,晶片检测强光灯
一般项目：半导体器件专用设备制造；集成电路制造；光伏设备及元器件制造；工业自动控制系统装置制造；电子元器件制造；电子测量仪器制造；机械电气设备制造；五金产品制造；塑料制品制造；集成电路芯片及产品销售；半导体器件专用设备销售；机械电气设备销售；工业控制计算机及系统销售；电子专用设备销售；电力电子元器件销售；工业设计服务；信息技术咨询服务；技术服务、技术开发、技
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