量产高纯氪气主流工艺为空气深冷精馏法。大型空分设备将空气低温液化,利用各组分沸点差异分离出富含氪、氙的液氧浓缩馏分,得到贫氪原料。
后续依次开展催化氧化脱除碳氢杂质、分子筛吸附脱水脱碳、多级低温精细精馏,彻底分离氪与氙组分,再通过精密过滤、脱氧装置去除微量氧、氮杂质,Zui终分馏灌装出不同纯度高纯氪气。少量低端氪可从合成氨尾气副产回收,但杂质超标,无法加工为5N 及以上高纯产品;核工业裂变尾气可提取放射性氪同位素,单独回收用于无损检测,不用于常规工业高纯氪生产。
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