工业SF6以单质硫与氟气为原料经高温合成，再通过水洗、碱洗、精馏、吸附多级提纯，去除HF、SF4、水分、空气杂质后得到成品。产品分为电力工业通用级与电子高纯级，普通工业SF6仅控制基础酸性杂质，满足电网输配电设备使用；若用于半导体、精密检漏则需进一步深度纯化。储运采用专用高压钢瓶液态灌装，使用过程中可回收再生提纯循环利用，减少新气采购成本，区别于普通空气分离类工业气体，属于精细化工合成特种气源。
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