一、设备用途
本机适用于直径100mm以下的硅片、锗片、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石等片状材料的单面高精度抛光加工。
二、主要特点
ø该设备采用了四个抛光头主动驱动方式，变频调速，设备运转平稳、使用可靠、操作方便。
ø主抛光盘旋转采用变频调速，机器起动、停止平稳。
ø主抛盘采用水冷方式，冷却方式的内部结构做了明显的改进。
ø主抛盘采用红外测温、控温装置。
ø抛光过程分三个阶段（三阶段时间控制自动切换）。
（1）阶段一（轻抛）：通抛光液，工作压力抛光头自重减去反压压力。
（2）阶段二（主抛）：通抛光液，工作压力为抛光头自重加正压压力减去反压压力。
（3）阶段三（水抛）：通去离子水，抛光压力与阶段一相同。
ø配有冲洗开关喷头。
ø承片盘为氧化铝陶瓷。
ø抛光头升、降及正反压采用主令开关控制电磁阀和精密减压阀调节控制，且四个抛光头分别控制。
ø主传动传动采用了住友的蜗轮蜗杆减速箱，四个抛光头传动采用了四个住友减速电机驱动。
三、设备基本参数:
l下抛光盘直径φ820mm
l承片盘直径φ305mm
l抛光头数量4
l气缸直径φ140mm
l抛光头升降行程180mm
l抛光头自重{包括活塞、活塞杆、承片盘}约53kg
l气缸工作时气压调整范围0--0.15mpa
l红外测温仪控温范围0-100℃
l抛光过程各阶段时间设定范围：
阶段一（轻抛）0---9999s
阶段二（主抛）0---9999s
阶段三（水抛）0---9999s
l抛光件Zui大直径φ300mm
l抛光硅片适合直径φ50-φ100mm
l主电机11kw380v50hz
l液泵电机370w
l抛光头驱动电机4x0.75kw
l下抛光盘转速0-80rpm（调频调速）
l抛光头转速0-63rpm（调频调速）
l电源三相380v±10%。
l设备外型尺寸mm
l设备重量约3000kg
三、加工能力
单头承片量：5片(4〃)8片(3〃)
整盘承片量：20片(4〃)32片(3〃)
喷射抛光机系列,刀具钝化机系列,流体抛光机系列,溜光机系列,喷射磨料系列,流体磨料系列,滚光油系列,电动工具系列,气动工具系列,研磨耗材系列
一般项目：金属加工机械制造；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；模具制造；风动和电动工具销售；新材料技术研发；五金产品批发；五金产品零售；金属表面处理及热处理加工；通用设备修理；气压动力机械及元件销售；产业用纺织制成品销售；专用化学产品销售（不含危险化学品）；润滑油销售；成品油批发（不含危险化学品）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执
天津宏昌发机械设备制造有限公司是一家集研发，设计，生产，销售，加工为一体的科技创新型企业。主要生产各类单双向流体抛光设备，高分子软流体研磨料，磨料专用软化剂，磨料专用润滑油。喷射镜面抛光设备，喷射弹性研磨料。已广泛应用于汽车工业，齿轮传动，航空航天，军工制造，3D打印，食品机械，医疗器械，模具制造，纺织工业，油气阀体，刀具钝化，热流道板，精密陶瓷及电子元器件等领域。加工类目：模具镜面抛光研磨加工，高光镜面处理，钢材料纹麻点焊印处理。导光...