电子陶瓷/精细陶瓷(装置瓷如Al₂O₃、滑石瓷、钛酸盐介质瓷等)的介电常数(εᵣ,相对介电常数/介电permittivity)检测与介质损耗角正切通常合并测试,依据:
产品及专项方法:GB/T 5594.2-1985(2004复审)《电子陶瓷材料介质损耗角正切值和介电常数的测试方法》,电子结构瓷验收引用此标准
通用固体介质:GB/T 1409-2006 / IEC60250《测量电气绝缘材料在工频、音频、高频(包括米波长在内)下介电性能试验方法》
产品标准关联:GB/T 5593-2018《电子元器件结构瓷材料》第4.5条要求按GB/T 5594.2测 εᵣ 和tanδ
项目
要求/说明
试样形状尺寸 | 圆片状:直径 Φ30~50mm,厚度d=1~3mm(厚径比1:10~1:20);两面被完整电极(烧渗Ag浆/溅射Au/Al),边缘留0.5~1mm间隙防沿面放电;表面Ra≤0.8μm无气孔裂纹 |
电极要求 | 低阻连续电极,高频测试推荐烧渗Ag或溅射Au;接触式平板电极(弹簧压紧)也可用但引入接触电容误差 |
测试频率 | 常规装置瓷验收1MHz±10%;高频微波陶瓷可测1kHz/10kHz/100kHz/10MHz多频点;微波介质用谐振腔法(Hakki-Coleman) |
测试温度 | 通常(20±2)℃或(25±1)℃,必要时测εᵣ–T曲线(−55~+125℃) |
仪器 | 高精度LCR表/阻抗分析仪/Q表,频率覆盖测试点,校准开路/短路/负载;εᵣ较低(<15)时用电容法C=C_meas·修正,高εᵣ用平行板公式 |
计算公式 | εᵣ = C·d / (ε₀·A) |
结果表达 | 给出 εᵣ(各平行样均值±范围),并行报告 tanδ;注明频率/温度/电极方式 |
陶瓷材料
εᵣ (1MHz)
典型应用
95% Al₂O₃瓷 | 8.6~9.5 | 装置瓷/基片/绝缘件 |
99% Al₂O₃瓷 | 9.8~10.2 | 高纯结构件 |
滑石瓷(MgO·SiO₂) | 5.5~7.0 | 低介低频装置瓷 |
堇青石瓷 | 4.5~5.5 | 低介耐热 |
TiO₂介质瓷 | 80~100 | 介质谐振/补偿 |
BaTiO₃基金属陶瓷(块体) | 1000~3000+ | 铁电/MLCC芯材 |
AlN基板(高纯) | 8.5~9.0 | 高热导绝缘 |
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